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安賽斯程控勻膠機(jī)

簡要描述:名 稱:安賽斯程控勻膠機(jī)
安賽斯程控勻膠機(jī)12英寸是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

  • 產(chǎn)品型號:12英寸
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-12-16
  • 訪  問  量:2507

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:



 稱:安賽斯程控勻膠機(jī)

 號:12英寸

應(yīng)  用:安賽斯程控勻膠機(jī)勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。



產(chǎn)品概述:



  安賽斯程控勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

  不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別400瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用于track設(shè)備相同設(shè)計和程序,使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中大達(dá)到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。



性能參數(shù):



l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)

l  旋涂程序:多存100組程序,每組100步,每個步驟可達(dá)0.1

l  轉(zhuǎn)動速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm

l  旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm

l  工藝時間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時間設(shè)置精度:0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-300mm12“圓晶)

l  旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)



產(chǎn)品特點:



l  內(nèi)部緊湊設(shè)計,縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗"設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

l  標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

l  采用工業(yè)級別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,不會生銹,便于清洗。

l  透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。




產(chǎn)品外型尺寸:613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)



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